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UV エキシマ& UVレーザーミラー、ウインドウ　Acton Optics & Coating

ACTON OPTICS & COATING
アクトン　オプティクス　
UV 光学部品
 

エキシマ & UV レーザーミラー

Wavelength	% Reflectance	1.0” Diameter	2.0” Diameter
126nm	≥ 55% @ NI	M126-FR-1D-MB	M126-FR-2D-MB
	≥ 50% @ 45° AOI	M126-FR45-1D-MB	M126-FR45-2D-MB
147nm	≥ 75% @ NI	M147-FR-1D-MB	M147-FR-2D-MB
	≥ 70% @ 45° AOI	M147-FR45-1D-MB	M147-FR45-2D-MB
157nm	≥ 89% @ NI	M157-FR-1D-MB	M157-FR-2D-MB
	≥ 87% @ 45° AOI	M157-FR45-1D-MB	M157-FR45-2D-MB
172nm	≥ 93% @ NI	M172-FR-1D-MB	M172-FR-2D-MB
	≥ 90% @ 45° AOI	M172-FR45-1D-MB	M172-FR45-2D-MB
193nm e	≥ 98% @ NI	M193-FRe-1D-MB	M193-FRe-2D-MB
	≥ 97% @ 45° AOI	M193-FR45e-1D-MB	M193-FR45e-2D-MB
193nm XL	≥ 97% @ NI	M193-FRXL-1D-MB	M193-FRXL-2D-MB
	≥ 96% @ 45° AOI	M193-FRXL45-1D-MB	M193-FRXL45-2D-MB
248nm	≥ 98% @ NI	M248-FR-1D-MB	M248-FR-2D-MB
	≥ 97% @ 45° AOI	M248-FR45-1D-MB	M248-FR45-2D-MB
308nm	≥ 98% @ NI	M308-FR-1D-MB	M308-FR-2D-MB
	≥ 97% @ 45° AOI	M308-FR45-1D-MB	M308-FR45-2D-MB
353nm	≥ 99% @ NI	M353-FR-1D-MB	M353-FR-2D-MB
	≥ 98% @ 45° AOI	M353-FR45-1D-MB	M353-FR45-2D-MB

波長	% 反射率	1.0” 直径	2.0” 直径
126nm	≥ 55% @ NI	M126-FR-1D-MB	M126-FR-2D-MB
	≥ 50% @ 45° AOI	M126-FR45-1D-MB	M126-FR45-2D-MB
147nm	≥ 75% @ NI	M147-FR-1D-MB	M147-FR-2D-MB
	≥ 70% @ 45° AOI	M147-FR45-1D-MB	M147-FR45-2D-MB
157nm	≥ 89% @ NI	M157-FR-1D-MB	M157-FR-2D-MB
	≥ 87% @ 45° AOI	M157-FR45-1D-MB	M157-FR45-2D-MB
172nm	≥ 93% @ NI	M172-FR-1D-MB	M172-FR-2D-MB
	≥ 90% @ 45° AOI	M172-FR45-1D-MB	M172-FR45-2D-MB
193nm e	≥ 98% @ NI	M193-FRe-1D-MB	M193-FRe-2D-MB
	≥ 97% @ 45° AOI	M193-FR45e-1D-MB	M193-FR45e-2D-MB
193nm XL	≥ 97% @ NI	M193-FRXL-1D-MB	M193-FRXL-2D-MB
	≥ 96% @ 45° AOI	M193-FRXL45-1D-MB	M193-FRXL45-2D-MB
248nm	≥ 98% @ NI	M248-FR-1D-MB	M248-FR-2D-MB
	≥ 97% @ 45° AOI	M248-FR45-1D-MB	M248-FR45-2D-MB
308nm	≥ 98% @ NI	M308-FR-1D-MB	M308-FR-2D-MB
	≥ 97% @ 45° AOI	M308-FR45-1D-MB	M308-FR45-2D-MB
353nm	≥ 99% @ NI	M353-FR-1D-MB	M353-FR-2D-MB
	≥ 98% @ 45° AOI	M353-FR45-1D-MB	M353-FR45-2D-MB

 

355nm Nd:YAG レーザーミラー

 

	% R	波長	1.0" パーツ番号	2.0" パーツ番号	ダメージ しきい値
355 nm @ ほぼ 垂直入射	99.9%	355nm	M355-FR-HY-1D-MB	M355-FR-HY-2D-MB	> 15 J/cm2*
355 nm 入射角@ 45°	≥ 99%	355nm	M355-FR45-HY-1D-MB	M355-FR45-HY-2D-MB	> 15 J/cm2*

*パルス繰り返し　100kHzまで



 

2波長レーザーミラー

波長	入射角	248nm % R	633nm % R	1.0" パーツ番号	2.0" パーツ番号
248/633nm	@ ほぼ垂直入射	≥ 97%	≥ 80%	M248/633-FR-1D-MB	M248/633-FR-2D-MB
248/633nm	@ 45°	≥ 97%	≥ 80%	M248/633-FR45-1D-MB	M248/633-FR45-2D-MB
266/633nm	@ ほぼ垂直入射	≥ 97%	≥ 80%	M266/532-FR-1D-MB	M266/532-FR-2D-MB
266/532nm	@ 45° AOI	≥ 97%	≥ 80%	M266/532-FR45-1D-MB	M266/532-FR45-2D-MB
308/633nm	@ ほぼ垂直入射	≥ 97%	≥ 80%	M308/303-FR-1D-MB	M308/633-FR-2D-MB
308/633nm	@ 45° AOI	≥ 97%	≥ 80%	M308/633-FR45-1D-MB	M308/633-FR45-2D-MB
353/633nm	@ ほぼ垂直入射	≥ 98%	≥ 80%	M353/633-FR-1D-MB	M353/633-FR-2D-MB
353/633nm	@ 45° AOI	≥ 98%	≥ 80%	M353/633-FR45-1D-MB	M353/633-FR45-2D-MB

 

VUV / UV レーザー　ビームスプリッター

Wavelength	10% +/-2%	30% +/-5%	50% +/-5%	70% +/-5%	90% +/-5%
126nm	M126-P1045	M126-P3045	M126-P5045	M126-P7045	M126-P9045
147nm	M147-P1045	M147-P3045	M147-P5045	M147-P7045	M147-P9045
157nm	M157-P1045	M157-P3045	M157-P5045	M157-P7045	M57-P9045
172nm	M172-P1045	M172-P3045	M172-P5045	M172-P7045	M172-P9045
193nm	M193-P1045	M193-P3045	M193-P5045	M193-P7045	M93-P9045
248nm	M248-P1045	M248-P3045	M248-P5045	M248-P7045	M248-P9045
266nm	M266-P1045	M266-P3045	M266-P5045	M266-P7045	M266-P9045
308nm	M308-P1045	M308-P3045	M308-P5045	M308-P7045	M308-P9045
353nm	M353-P1045	M353-P3045	M353-P5045	M353-P7045	M353-P9045

パーツ番号 M308-P3045-1D-MBの意味　波長308nm　30%透過　入射角45°　直径1インチ　UVフューズド　シリカ
垂直入射の場合は、45を除いてください。




 

ダイクロイック　ミラー

UV / VIS ダイクロイック　ミラー　　スタンダード フューズド　シリカ

UV Wavelength	45 Reflectance	1.0" dia. (25.4mm)	1.5" dia. (38.1mm)	2.0" dia (50.8mm)
193nm	≥ 94%	193/V-FR45-1D-MB	193/V-FR45-1.5D-MB	193/V-FR45-2D-MB
212nm	≥ 95%	212/V-FR45-1D-MB	212/V-FR45-1.5D-MB	212/V-FR45-2D-MB
248nm	≥ 96%	248/V-FR45-1D-MB	248/V-FR45-1.5D-MB	248/V-FR45-2D-MB
266nm	≥ 96%	266/V-FR45-1D-MB	266/V-FR45-1.5D-MB	266/V-FR45-2D-MB
308nm	≥ 96%	308/V-FR45-1D-MB	308/V-FR45-1.5D-MB	308/V-FR45-2D-MB
353nm	≥ 98%	353/V-FR45-1D-MB	353/V-FR45-1.5D-MB	353/V-FR45-2D-MB

UV / IR ダイクロイック　ミラー　　CaF2 

UV 波長	45°　反射率	1.0" 直径 (25.4mm)	1.5" 直径 (38.1mm)	2.0" 直径 (50.8mm)
193nm	≥ 94%	193/IR-FR45-1D-FLC	193/IR-FR45-1.5D-FLC	193/IR-FR45-2D-FLC
212nm	≥ 95%	212/IR-FR45-1D-FLC	212/IR-FR45-1.5D-FLC	212/IR-FR45-2D-FLC
248nm	≥ 96%	248/IR-FR45-1D-FLC	248/IR-FR45-1.5D-FLC	248/IR-FR45-2D-FLC
266nm	≥ 96%	266/IR-FR45-1D-FLC	266/IR-FR45-1.5D-FLC	266/IR-FR45-2D-FLC
308nm	≥ 96%	308/IR-FR45-1D-FLC	308/IR-FR45-1.5D-FLC	308/IR-FR45-2D-FLC
353nm	≥ 98%	353/IR-FR45-1D-FLC	353/IR-FR45-1.5D-FLC	353/IR-FR45-2D-FLC

UV 狹帯域　ARコート　ウインドウ

波長	1" パーツ番号	2” パーツ番号	% 反射率 垂直入射
126nm	M126-2AR-1D-FL	M126-2AR-2D-FL	≤ 0.5% @ 126nm
147nm	M147-2AR-1D-FL	M147-2AR-2D-FL	≤ 0.5% @ 147nm
157nm	M157-2AR-1D-FL	M157-2AR-2D-FL	≤ 0.5% @ 157nm
172nm	M172-2AR-1D-FL	M172-2AR-2D-FL	≤ 0.3-0.5% @ 172nm
193nm	M193-2AR-1D-FL	M193-2AR-2D-FL	≤ 0.3-0.5% @193nm
248nm	M248-2AR-1D-FL	M248-2AR-2D-FL	≤ 0.2-0.5% @248nm
308nm	M308-2AR-1D-FL	M308-2AR-2D-FL	≤ 0.2-0.5% @308nm
353nm	M353-2AR-1D-FL	M353-2AR-2D-FL	≤ 0.2-0.5% @353nm

広帯域　ARコート　ウインドウ

波長	% 反射率　垂直入射
355-532-1064nm	≤ 0.5% per wavelength
400-800nm	≤ 0.5% average